総合研究所シリコンナノ
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| インターネットや携帯電話など、私たちが普段からその利便性の恩恵にあずかっている情報システムは半導体エレクトロニクスを中心として構築されており、高性能化・高機能化が絶え間なく進められています。本研究センターは半導体エレクトロニクス、とりわけシリコン材料をベースとする革新的な半導体デバイスとプロセス技術の研究・開発を目的に設立され、世界最高速キャリヤ移動度の達成やゲルマニウム量子ドットの高効率室温発光などの研究成果を世界に先駆けて発信して来ました。研究開発体制として国内外の研究者との連携を組織化し、先端的な実験技術に加えて、シミュレーション研究の高度化を図ることで、次世代半導体にブレークスルーもたらす新機能シリコン系ナノ電子・光・スピンデバイスの創出を目指しています。 |
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シリコン系 分子線エピタキシー装置
シリコン系へテロ構造を単原子層の精度で作製する装置  |
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電子線描画装置 ナノメートルの精度で各種パターンを描画する装置 |
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イオン打込み装置 イオンを利用して半導体中に不純物を導入する装置 |
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主な研究テーマ ■シリコン系ナノ構造の作製と物性評価に関する研究 ■シリコン系ナノ電子・光・スピンデバイスの研究開発 ■シリコン系ナノ電子デバイスと光デバイスの融合による光スイッチの研究開発 ■シミュレーションによるシリコンナノ構造とデバイスの設計技術の研究開発 ■先端的XPS分光法などを用いたシリコン系ナノ構造の計測技術に関する研究開発 |
構成員
| 丸泉 琢也 | 工学部・教授 | (半導体工学) | |
| 白木 靖寛 | 副学長 | (半導体工学) | |
| 小野 茂 | 工学部・教授 | (プラズマ科学) | |
| 桐生 昭吾 | 工学部・教授 | (量子計測) | |
| 岩松 雅夫 | 知識工学部・教授 | (統計物理・計算物理) | |
| 岡野 好伸 | 知識工学部・教授 | (マイクロ波応用) | |
| 吉田 真史 | 知識工学部・教授 | (計算科学) | |
| 野平 博司 | 知識工学部・准教授 | (電子物性) | |
| 瀬戸 謙修 | 工学部・講師 | (半導体CAD) | |
| 澤野 憲太郎 | 工学部・講師 | (半導体工学) | |
| 堀越 篤史 | 知識工学部・講師 | (計算科学) | |
| 中川 清和 | 客員教授 | [山梨大・教授] | (半導体工学) |
| 松井 敏明 | 客員教授 | [情報通信研究機構] | (半導体工学) |
| 夏 金松 | 総合研究所・助手 | (半導体工学) | |
| 田口 貞憲 | 工学部・技術員 |