ナノエレクトロニクス研究センター
クリーンルーム
準クリーンルーム
シリコン系分子線エピタキシー装置
マイクロPL分光装置
イオン打込み装置
イオンを利用して半導体中に不純物を導入する装置
電子線描画装置
ナノメートルの精度で各種パターンを描画する装置
スパッタリング装置
高効率水素エンジン・エンジントライボロジー研究センター
(1) 多気筒エンジン摩擦力計測試験装置
(2) 浮動ライナー法による単気筒ピストン摩擦力計測試験装置
(3) すべり軸受の焼付き・摩擦力計測単体試験機
(4) 燃焼・噴流可視化水素エンジンと可視化実験風景
(5) ALD( Atomic Layer Deposition
原子層堆積装置)：ナノメーター単位の成膜管理が可能なALD 装置により、薄膜センサー全般の絶縁膜の形成に使っています。
(6) 誘導結合RF プラズマ支援マグネトロンスパッタリング装置:
エンジンの摺動部品などへの薄膜センサーの絶縁膜の形成に使っています。
(7) RFマグネトロンスパッタリング装置:
この装置によって、熱流束計測センサーを製作しています。
(8) 水素エンジンに取り付けた熱流束センサ
地盤環境工学研究センター
小型遠心模型実験装置
ミニチュアのモデルを高速回転させながら実験をすることで、実物大の実験とみなすことが出来る特殊な実験装置。まだまだ稀少な装置ですが、すでに20年以上の研究実績があります。
回転圧入模型地盤改良機
地盤とセメントを混ぜながら、特殊なスクリューで掘り進み、杭状の改良体を作成する装置。スクリュー形状やセメントの配合割合、地盤性状や温度の影響に関する研究を行っています。
インテリジェントロボティクスセンター
移動ロボット開発用テストベッド
モーションキャプチャカメラと床面のフォースセンサが連動し、人の動きだけでなく、床面反力・関節トルクまでを推定する。人型ロボットの動作制御に応用する。
28台のカメラがUAVをリアルタイムで位置計測
LiDARで周囲の状況を捉えながら電動車いすが自律移動
FUTURE-PV 研究室
太陽電池を試作するためのスパッタ装置（透明導電膜ITOやSi3N4絶縁膜）
半導体に微細加工を施すためのフォトリソグラフィー装置