設備紹介

ナノエレクトロニクス研究センター

クリーンルーム
準クリーンルーム
シリコン系分子線エピタキシー装置
マイクロPL分光装置
イオン打込み装置

イオンを利用して半導体中に不純物を導入する装置

電子線描画装置

ナノメートルの精度で各種パターンを描画する装置

スパッタリング装置

都市基盤施設の再生工学研究センター

  • 高精度加振器

    0.1~100Hz,150mm

  • 渦流探傷画像診断システム

  • データ収録装置(各種)

  • 実体顕微鏡

恒温槽(温度、湿度制御)

高効率水素エンジン・エンジントライボロジー研究センター

特色ある研究設備

(1) 多気筒エンジン摩擦力計測試験装置
(2) 浮動ライナー法による単気筒ピストン摩擦力計測試験装置
(3) すべり軸受の焼付き・摩擦力計測単体試験機
(4) 燃焼・噴流可視化水素エンジンと可視化実験風景
(5) ALD( Atomic Layer Deposition
原子層堆積装置):

ナノメーター単位の成膜管理が可能なALD 装置により、薄膜センサー全般の絶縁膜の形成に使っています。

(6) 誘導結合RF プラズマ支援マグネトロンスパッタリング装置:

エンジンの摺動部品などへの薄膜センサーの絶縁膜の形成に使っています。

(7) RFマグネトロンスパッタリング装置:

この装置によって、熱流束計測センサーを製作しています。

(8) 水素エンジンに取り付けた熱流束センサ

地盤環境工学研究センター

小型遠心模型実験装置

ミニチュアのモデルを高速回転させながら実験をすることで、実物大の実験とみなすことが出来る特殊な実験装置。まだまだ稀少な装置ですが、すでに20年以上の研究実績があります。

回転圧入模型地盤改良機

地盤とセメントを混ぜながら、特殊なスクリューで掘り進み、杭状の改良体を作成する装置。スクリュー形状やセメントの配合割合、地盤性状や温度の影響に関する研究を行っています。

インテリジェントロボティクスセンター

移動ロボット開発用テストベッド

モーションキャプチャカメラと床面のフォースセンサが連動し、人の動きだけでなく、床面反力・関節トルクまでを推定する。人型ロボットの動作制御に応用する。

28台のカメラがUAVをリアルタイムで位置計測

LiDARで周囲の状況を捉えながら電動車いすが自律移動

ミネラル結晶体研究センター

生体計測関連装置

生体機能を評価するための装置。生体内にて起こる様々な現象を生化学的に評価するためのものである。

培養細胞及び生体組織を用いた評価を行うためのものである。

FUTURE-PV 研究室

太陽電池を試作するためのスパッタ装置(透明導電膜ITOやSi3N4絶縁膜)

半導体に微細加工を施すためのフォトリソグラフィー装置

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